源照射破坏的镀膜材料已经可以承受住波长在25纳米极紫外光光源照射的反射镜镜头装置，不过这次瑞星科技公司并没有使用25纳米的深紫外光源，因为华兴科技集团公司的半导体材料公司这两年研制出来的光刻胶才能承受住35纳米的深紫外光的辐射损伤。
为了攻克这些世界级的难题，三阳光学公司这些年技术团队那是没日没夜地用时间和不断地实验改进材料和加工工艺一点点地将这些硬骨头给啃下来的。
尽管艾斯摩尔公司可以得到米国国内最好的极紫外光刻机需要的最好光源和计算光刻等方面的应用服务，而且提前两年推出了极紫外光刻机的原型机，但是瑞星科技公司公司却是上下一心，硬是靠着砸钱砸人砸时间将极紫外光刻机研发样机开始投入正式地开始投入实用化。
去年的时候艾斯摩尔公司才推出了第一台研发用的样机。
何玉光在介绍完光源系统和镜头组后说道：“这次我们推出的新型双工件台也是使用了不少的新技术，使用了更高精度的测温传感器和新的冷却系统，可以将工件台内部稳定控制在千分之五度以内，另外也是使用了新型的磁悬浮轴承系统和高精度的激光测距定位系统，保证工件台的同步精度可以做到2纳米以内，让对焦系统的精度达到了一个全所未有的水平。”
“我们为了提高光刻机的良率也是特地开发了一套智能系统来帮助提高光刻机的对焦系统的对焦精度和准确率，并且帮助客户来提高套刻精度，最大限度地减少误差，并且能够在加工过程中对出现缺陷的工艺进行报警提示，避免加工过程里面出现大规模的残次品，减少客户的损失。”
瑞星科技公司公司这么多年来通过光刻机在晶圆厂的实际运作中也是获得了海量的数据，之后也是导入人工智能系统，可以在晶圆制造的过程当中通过检测系统就能将有问题的晶圆给检测出来。
“……”
听到何玉光的话，艾斯摩尔公司这次过来的这位代表差点站起身来！
该死的，他们竟然在光刻机产品里面导入了人工智能技术，这还怎么玩！
此时台下也是一阵躁动，他们也是没想到瑞星科技公司公司竟然爆出了这么惊人的一个消息出来！
“各位，我们研发的这套人工智能辅助系统可以大幅提升良率，提高晶圆厂技术人员的工作效率，我们公司内部也是进行了大量的测试验证，证明这套智能辅助系统对晶圆厂的成本、良率、产出都有非常不错的提升效果。”
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