料要用到零膨胀材料，并且还不能吸收紫外光光源能量，其难度之大简直众多的科学家和工程师头皮发麻。
不过杨杰在这方面那是真的舍得砸钱的，而且三阳光学公司这些年也是一直在为瑞星科技公司公司提供光刻机的镜头组，同时也为不少的大科学装置提供各种高精尖的光学设备，技术研发上就从来没有停过，所以现在已经能提供能够长时间经受住波长在25纳米极紫外光光源照射的反射镜镜头装置了。
所以现在瑞星科技公司公司选用的是四倍频激光技术的氮化镓半导体固态激光光光源。
如果在技术层面上来说的话瑞星科技公司公司在极紫外光刻机水平跟阿斯麦差不多是处于同一水平的。
不过杨杰是想率先抢在阿斯麦之前将极紫外光刻机实现量产，所以在跟胡焕志谈到华兴科技集团公司还要加码技术研发上首先就提到了极紫外光刻机研发进度的事情。